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日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)  地：更新時間：2021-03-23 16:44

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產(chǎn)品參數(shù)

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器

性能參數(shù)：



產(chǎn)品介紹

日本KOFLOC 5400系列質(zhì)量流量控制器：

雖然外觀是傳統(tǒng)產(chǎn)品，但傳感器驅(qū)動方法已得到改進(jìn)，以減少零漂移。
它是***種通過金屬密封結(jié)構(gòu)具有高氣密性的產(chǎn)品，并增加了切口接頭。

金屬密封，泄漏率1*10-11pa·m3/s以下

適用于高真空、半導(dǎo)體、劇毒、強(qiáng)腐蝕氣體環(huán)境下

±15VDC供電性能穩(wěn)定，0-5V模擬信號更加通用





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