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商品編號(hào)：90168

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產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-05-11 14:12

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晶圓測(cè)試探針臺(tái)主要性能參數(shù)：

規(guī)格
Chuck（可選）		4" 或6" 不銹鋼，真空吸附型，獨(dú)立開關(guān)控制
Chuck X-Y軸行程，精度		4" x4"，10um
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度		0~360 度
Chuck 旋轉(zhuǎn)角度微調(diào)精度		0.01°
Chuck快速升降（選配）		4mm
Chuck微調(diào)升降（選配）		4mm ，1um精度
Chuck 平整度		5um
針座平臺(tái)		C型設(shè)計(jì)，可放置8個(gè)BT 型針座，可擴(kuò)展為O型平臺(tái)
針座平臺(tái)平整度		5 um
顯微鏡Z軸行程，精度		2"，細(xì)調(diào)精度0.1um
需求
電力	220 VAC, 60Hz

真空	-250 mmHg, 7 liter/min

尺寸
320mm寬320mm長400mm高（帶顯微鏡）
重 20 Kg（帶顯微鏡）
可選附件
激光切割
加熱臺(tái)
防震桌
顯微鏡暗場(chǎng) / DIC/Normarski 檢測(cè)
光強(qiáng)/波長測(cè)試接口部件
射頻測(cè)試探頭和線纜
有源探頭
低電流/電容測(cè)試
高壓測(cè)試
CCD視頻系統(tǒng)
液晶漏電分析套裝
屏蔽箱
鍍金Chuck

CS系列探針臺(tái)造型小巧，測(cè)量精度高，操作方便，符合人機(jī)工程學(xué)。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試。廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā)。

CS探針臺(tái)能夠勝任的測(cè)試有：

應(yīng)用領(lǐng)域：

探針臺(tái)應(yīng)放在穩(wěn)定可靠的臺(tái)面上，是具有防震裝置的工作臺(tái)上，避免在高溫，潮濕激烈震動(dòng)，陽光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。

使用*佳溫度范圍為5℃～40℃，*佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

使用電源：220±10%，50~60Hz

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