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PHI 5000 VersaProbe Scanning ESCA Microprobe

特點(diǎn)說明:

PHI 5000 VersaProbe 為多功能的X-ray光電子能譜儀，可組合上許多配件增加其應(yīng)用范圍，尤其為C60離子槍更能克服表面分析長(zhǎng)期以來(lái)對(duì)有機(jī)結(jié)構(gòu)作深度分析的困難，使得表面分析在對(duì)有機(jī)結(jié)構(gòu)的認(rèn)識(shí)更進(jìn)***步。

Scanning X-ray Microprobe 之設(shè)計(jì) :
類似于SEM之功能及操作的便利性
解析度高達(dá)10 μm
五軸式電腦控制樣品平臺(tái) :
具備Compucentric Zalar Rotation能力及程式化控制蝕刻速率
專利的雙射線束電性中和 :
分析不導(dǎo)電樣品時(shí)，不需做特別的前置樣品準(zhǔn)備
自動(dòng)分析多樣性之絕緣體樣品
配件多樣化 :

C60離子槍、樣品溫度控制、UV光源等

產(chǎn)業(yè)應(yīng)用﹕材料,能源產(chǎn)業(yè),電子,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)