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等離子去膠機(灰化)

價  格:詢價

產  地:更新時間:2021-01-19 15:36

品  牌:型  號:Plasma Stripper (Asher)

狀  態:正常點擊量:2699

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上海非利加實業有限公司

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Plasma Stripper (Asher) 等離子去膠機(灰化)

 

應用:從蝕刻晶圓片上移除光刻膠

流程配置: RIE/ICP

工作原理

。使用等離子體源,生成單原子反應種。

。氧是*常見的反應物質。反應性物質與光阻結合形成灰,

。用真空泵將其除去。

。ICP結構避免了高能離子轟擊和電容耦合,

。提供低襯底損傷。

 

可用氣體:  O2, N2O

 

主要性能:

。開放式設計,可快速加載和卸載晶圓。

。基片放置在石英上,以避免濺射/再沉積電極材料

。通過頂部電極上的“蓮蓬頭”進氣口將氣體注入工藝室

。電感耦合等離子體(ICP)和電極的獨立射頻發生器提供對離子能量和離子密度的獨立控制

。高電導泵浦端口提供高的氣體吞吐量,以*快的腐蝕速率

。使用等離子體源,生成單原子反應種。氧是*常見的反應物質。


O
2 Plasma Stripper (Asher)

Application

Operating Principle

Using a plasma source, a monatomic

reactive species is generated. Oxygen is

the most common reactive species. The

reactive species combines with the photo

resist to form ash which is removed with a

vacuum pump.

ICP configuration avoids energetic ion

bombardment and capacitive coupling,

providing low substrate damage.

Gases Available

O2

N2O

Key Features

• The open-load design allows

fast wafer loading and

unloading.

• Substrate is placed on a quartz

to avoid sputtering/re

deposition of electrode material

• Gas injected into process

chamber via “showerhead” gas

inlet in the top electrode

• Separate RF generators for ICP and

electrode provide separate control

over ion energy and ion density

• High conductance pumping port

provides high gas throughput for

fastest etch rates

 

 


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