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在線橢偏儀 In-situ series

價  格：詢價

產  地：更新時間：2021-01-18 16:44

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儀器介紹：
在鍍膜或刻蝕的過程中，實時監測樣品膜的膜厚以及光學常數（n,k）變化。
 
技術參數：
·可實現快速、實時在線監測樣品膜層變化
 
主要特點：
將激發和探測頭引入生產設備，可實現:
· 動態模式:實時監測膜厚變化
· 光譜模式：監測薄膜的界面和組分
 


產品參數


產品介紹



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