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研究。計(jì)算機(jī)的發(fā)展和應(yīng)用使橢偏數(shù)據(jù)的擬合分析變得容易，促使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。硬件的自動(dòng)化和軟件的成熟大大提高了運(yùn)算的速度，成熟的軟件提供了解決問(wèn)題的新方法，因此，橢偏儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過(guò)程中。*初，橢偏儀的工作波長(zhǎng)多為單***波長(zhǎng)或少數(shù)獨(dú)立的波長(zhǎng)，*典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。現(xiàn)在大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)以多波長(zhǎng)工作（通常有幾百個(gè)波長(zhǎng)，接近連續(xù)）。和單波長(zhǎng)的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優(yōu)點(diǎn)：可以提升多層探測(cè)能力，可以測(cè)試物質(zhì)對(duì)不同波長(zhǎng)光波的折射率等成像橢圓偏振技術(shù)正在引起越來(lái)越多的興趣。研究人員發(fā)現(xiàn)利用成像橢偏技術(shù)可實(shí)現(xiàn)超小塊薄膜分析、原位橢偏測(cè)量、各種液體環(huán)境下的橢偏分析并且可以實(shí)現(xiàn)和多種技術(shù)聯(lián)用，如布魯斯特角顯微鏡、表面等離子共振、原子力顯微鏡、石英晶體微天平、LB槽、反射光譜儀、太赫茲光譜儀以及拉曼光譜儀等等。這些新特點(diǎn)拓展了橢偏儀的應(yīng)用領(lǐng)域。這橢偏技術(shù)帶來(lái)了新的研究熱點(diǎn)的同時(shí)也給該技術(shù)帶來(lái)了挑戰(zhàn)，例如在非穩(wěn)定液體表面的薄膜的測(cè)量和顯微成像等。是***種用于探測(cè)薄膜厚度、光學(xué)常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。由于測(cè)量精度高，適用于超薄膜，與樣品非接觸，對(duì)樣品沒(méi)有破壞且不需要真空，使得橢偏儀成為***種極具吸引力的測(cè)量?jī)x器。早期的橢偏研究主要集中于偏振光及偏振光與材料相互作用的物理學(xué)研究以及儀器的光學(xué)

研究。計(jì)算機(jī)的發(fā)展和應(yīng)用使橢偏數(shù)據(jù)的擬合分析變得容易，促使橢偏儀在更多的領(lǐng)域得到應(yīng)用。硬件的自動(dòng)化和軟件的成熟大大提高了運(yùn)算的速度，成熟的軟件提供了解決問(wèn)題的新方法，因此，橢偏儀現(xiàn)在已被廣泛應(yīng)用于材料、物理、化學(xué)、生物、醫(yī)藥等領(lǐng)域的研究、開發(fā)和制造過(guò)程中。*初，橢偏儀的工作波長(zhǎng)多為單***波長(zhǎng)或少數(shù)獨(dú)立的波長(zhǎng)，*典型的是采用激光或?qū)﹄娀〉葟?qiáng)光譜光進(jìn)行濾光產(chǎn)生的單色光源。現(xiàn)在大多數(shù)的橢偏儀在很寬的波長(zhǎng)范圍內(nèi)以多波長(zhǎng)工作（通常有幾百個(gè)波長(zhǎng)，接近連續(xù)）。和單波長(zhǎng)的橢偏儀相比，光譜型橢偏儀有下面的優(yōu)點(diǎn)：可以提升多層探測(cè)能力，可以測(cè)試物質(zhì)對(duì)不同波長(zhǎng)光波的折射率等成像橢圓偏振技術(shù)正在引起越來(lái)越多的興趣。研究人員發(fā)現(xiàn)利用成像橢偏技術(shù)可實(shí)現(xiàn)超小塊薄膜分析、原位橢偏測(cè)量、各種液體環(huán)境下的橢偏分析并且可以實(shí)現(xiàn)和多種技術(shù)聯(lián)用，如布魯斯特角顯微鏡、表面等離子共振、原子力顯微鏡、石英晶體微天平、LB槽、反射光譜儀、太赫茲光譜儀以及拉曼光譜儀等等。這些新特點(diǎn)拓展了橢偏儀的應(yīng)用領(lǐng)域。這橢偏技術(shù)帶來(lái)了新的研究熱點(diǎn)的同時(shí)也給該技術(shù)帶來(lái)了挑戰(zhàn)，例如在非穩(wěn)定液體表面的薄膜的測(cè)量和顯微成像等。