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測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)

RGS20-S：鍍金鋼帶，帶保護(hù)膜或聚酯涂層

讀數(shù)頭尺寸 (LxWxH)

44 mm x 27mm x 16 mm

柵距

20 µm

熱膨脹系數(shù)

用端壓塊固定柵尺端部后，保持與基體材料膨脹系數(shù)***致

精度等***

±15 µm/m（應(yīng)用2點(diǎn)補(bǔ)償時(shí)為±3 µm/m）

參考零位

利用磁勵(lì)體的單向重復(fù)精度達(dá)到1單位分辨率

限位開關(guān)

單限位或雙限位（訂貨時(shí)選擇）

柵尺長(zhǎng)度

*長(zhǎng)達(dá)50,000 mm

速度

模擬

數(shù)字

（詳見規(guī)格手冊(cè)）

-3 dB時(shí)可達(dá)4 m/s

可達(dá)10 m/s

電子細(xì)分誤差 (SDE)

***般小于±0.15 µm

動(dòng)態(tài)信號(hào)控制

直流光源伺服提供簡(jiǎn)單的自動(dòng)增益控制 (AGC) 功能來(lái)優(yōu)化信號(hào)水平

增量信號(hào)

模擬

數(shù)字

1 Vpp，12 µA（周期為20 µm）

分辨率從5 µm至50 nm

電氣連接

電纜長(zhǎng)度為0.5 m、1 m、1.5 m、2 m、3 m和5 m，采用D型插頭（15針）、圓形插頭（9針和12針）、同軸插頭（16針）或散線

電源

5 V ±5%，120 mA（典型）、200 mA（分辨率為0.1 µm和50 nm）（無(wú)端接）

振動(dòng)（工作）

55 Hz至2000 Hz時(shí)100 m/s² （值）

震動(dòng)（非工作）

1 000 m/s²，6 ms ，½正弦

工作溫度

0 °C至+55 °C

防護(hù)等***

IP50