冷場發射掃描電子顯微鏡
上海非利加實業有限公司
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技術參數:
1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.4nm(1kV)
2.加速電壓:0.1KV-30kV
3.放大倍數:25-100萬倍
4.樣品室尺寸:200mm直徑樣品
5.束流強度:10-13到2X10-9
主要特點:
1.主動式減震器
2.的磁懸浮分子泵系統,無需UPS保護
3.標配的五軸馬達驅動全對中樣品臺
4.全自動樣品更換氣鎖
5.全自動樣品監控系統
6.全自動物鏡光闌
7.多通道顯示系統
8.自動減速系統標準配置