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Q150GB全自動高真空濺射鍍膜儀（用于手套箱）

主要特點：
? 可安裝在手套箱內的模塊化系統
? 整體手套箱壓力監測
? 金屬濺射、碳蒸發 – 或二者兼有
? 觸摸屏控制模塊置于手套箱外部操作
? 鍍膜顆粒精細
? 高真空渦輪分子泵抽真空
? 可選通過膜厚監控儀實現厚度控制

Q150GB全自動高真空濺射鍍膜儀（用于手套箱）

技術參數：
技術規格
儀器尺寸:267mm W x 490mm D x 494mm H 總重量:40公斤
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃152mm Dia (內部) x 214mm H
安全鐘罩:整體PET
樣品臺：直徑為50mm的旋轉樣品臺。轉速8-20 rpm
真空范圍: 10-5 mbar量級
濺射可選靶材：Au金、Au/Pd金鈀合金、Pt鉑、Pt/Pd鉑鈀合金、Ag銀、Al鋁、C碳、Cr鉻、Co鈷、Cu銅、Fe鐵、Ir銥、Mg鎂、Mo鉬、Ni鎳、Pd鈀、Sn錫、Ta鉭、Ti鈦、W鎢、ITO氧化銦錫等

蒸發源：可選用碳棒進行熱蒸發鍍碳，也可使用鎢絲籃或鎢舟/鉬舟進行熱蒸發鍍各種金屬膜。

 

Q150GB全自動高真空濺射鍍膜儀（用于手套箱）

儀器簡介：
英***Q150GB渦輪泵高真空、模塊化鍍膜系統，自動程序控制，傻瓜相機式的簡單操作。其鍍膜單元可置于各種手套箱內，外置觸摸屏用戶界面、電源單元和前***機械泵。可監測手套箱壓力。該系統不同的配置可以實現離子濺射鍍膜、碳蒸發/金屬蒸發鍍膜或濺射蒸發二者兼有之功能，可用于SEM、TEM及薄膜樣品鍍膜，也常用于鋰電池科研等需要在手套箱內鍍膜的樣品。