日立 FT110A X射線熒光鍍層厚度測量儀
概要：
自1978年以來取得傲人銷量的X射線熒光鍍層厚度測量儀的第八代產品FT110A。在測量精度、操作性能、軟件上有新的優化。
通過自動定位功能，只需把樣品放在樣品臺上，便能在數秒內自動對準觀察樣品焦點，省略了以前手動逐次對焦的操作，大幅提高了測量效果。
型號名稱：FT-110A
測量元素：原子序數22（Ti）~83（Bi）
檢測器：比例計數管
X射線管：管電壓：50kV 管電流：1mA
準直器：4種（Φ0.05mm、Φ0.1mm、Φ0.2mm、Φ0.025×0.4mm）
樣品觀察：CCD攝像頭（可進行廣域觀察）
X-Ray Station：電腦、19英寸液晶顯示器
膜厚測量軟件：薄膜EP法、標準曲線法
測量功能：自動測量、中心搜索
定性功能：KL標記、比較表示
使用電源：220V/7.5A
特長：
1.自動對焦功能 自動接近功能
在樣品臺上放置各種高度的樣品時，只要高低差在80mm范圍內，即可在3秒內自動對焦被測樣品。由此進***步提高定位操作的便捷性。
●自動對焦功能 簡便的攝像頭對焦
●自動接近功能 ***適合位置的對焦
2.通過新 薄膜FP法提高測量精度
實現微小光束的高靈敏度，通過微小準直器提高了膜厚測量精度。鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2。另外，針對檢測器的特性開發了新的EP法，可進行無標樣測量。測量結果可***鍵生成報告書，簡單方便。
●新 薄膜EP法
減少檢量線制作的繁瑣程度、實現了設定測量條件的簡易化
無標樣測量方法可進行***多5層的膜厚測量
●自動對焦功能和距離修正功能
凹凸落差的樣品可通過薄膜EP法做成的相同測定條件進行測量
●靈敏度提高
鍍層測量時間比本公司原有機型縮短了1/2
●生成報告功能
***鍵生成測量報告書
3.廣域樣品觀察
對測量平臺（250mm*200mm）上放置的樣品拍攝***張靜態畫面后，可在獲取的廣域觀察圖像上指定狹域的觀察位置。由此，可大幅減少多數測量點位置的選取時間，以及在圖像上難以尋找的特定點位置的選定時間。
●廣域圖像觀察輕松定位
滬公網安備31011502016460號
