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基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)

價(jià)  格:詢價(jià)

產(chǎn)  地:其他國家更新時(shí)間:2020-10-22 17:24

品  牌:Harrick Plasma型  號:FR-pRo

狀  態(tài):正常點(diǎn)擊量:2426

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配送方式: 上海自提或三方快遞

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干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng),而某***束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關(guān)的其他物理量。


FR-pRo VIS/NIR基礎(chǔ)型膜厚儀(紫外/近紅外-高分辨率)光譜范圍:350-1000nm :

Α)鹵鎢光源系統(tǒng)Tungsten Halogen light source 全軟件控制的光譜范圍和輻照強(qiáng)度。

小型光譜儀光譜范圍(350nm-1000nm),分辨精度可達(dá)3648像素, 16位*** A/D 分辨精度;配有USB通訊接口;

光學(xué)連接器SMA 905, 光譜儀功率:110VAC/230VAC – 60Hz/50Hz.

10mm厚度的氧化鋁面板,每英寸(25mm)間距,配有M6 (or ?”) 口徑鉆孔,用以安裝光學(xué)部件。

樣品放置臺(tái),配有多點(diǎn)Z軸聚焦和X-Y軸移動(dòng)調(diào)節(jié)。反射探針夾具調(diào)節(jié)范圍 (200mm – 200mm – 60mm),可在測試區(qū)域內(nèi)***調(diào)節(jié)。

Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng),

可精確計(jì)算如下參數(shù):

1)單***或堆積膜層的厚度;

2)靜態(tài)或動(dòng)態(tài)模式下,單***膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數(shù)據(jù)庫,可以有效地協(xié)助用戶進(jìn)行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,***次使用授權(quán),即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結(jié)果分析使用。

C) 參考樣片:

a) 經(jīng)校準(zhǔn)過的反射標(biāo)準(zhǔn)硅片;

b) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有SiO2/Si 特征區(qū)域的樣片;

c) 經(jīng)校準(zhǔn)過的帶有Si3N4/SiO2/Si特征區(qū)域的樣片;

D) 反射光學(xué)探針

系統(tǒng)內(nèi)嵌6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm;

 



產(chǎn)品參數(shù)


產(chǎn)品介紹



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